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| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
美國康寧Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業界*先的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的 數據。Flatmaster MSP-300平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行精密測量。FLATMASTER 300平面度測量儀可以實現自動、快速、準確、穩定的測量，超過20年的工業應用，幾百臺的裝機量。
美國FlatMaster MSP-300平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應用光學等材料科學和制程工藝領域的知識, 美國康寧CORNING平面度測量儀品牌創造并生產出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科 學領域產品的關鍵組成部分。
測量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度變化的能力對于成功集成3DIC組件非常重要。 傳統的接觸式探頭或傳統的干涉測量系統太慢，或者對于較大的視野而言沒有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度測量儀）是一種****，可為300毫米玻璃和硅晶片提供快速，準確的測量。 在幾秒鐘內，以亞微米的精度收集了超過300萬個數據點，從而能夠表征整個表面的總厚度和平坦度 |  |  |
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測量多種不同指標：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統：
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現自動、 快速、準確、穩定且靈活的測量
技術參數：
? 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
? 分辨率：5nm （0.2μ″）
? 可測量工件尺寸：5mm-300mm
? 動態測量范圍：>100um
? 測量數據點：230,000
? 測量時間：5秒
? 電源：～220V 50Hz
| 儀器型號 | FlatMaster MSP40 | FlatMaster MSP150 | FlatMaster MSP300 | |
|---|---|---|---|---|
| 測量原理 | 入射式掃描干涉 | |||
尺寸 | ～φ40mm | ～φ150mm | ～φ300mm | |
*大測量高度 | 40mm | 60mm | 300mm | |
測量波長 | 830nm AlGaAs半導體激光器 | |||
測量數據數 | *大約78萬點 | *大約400萬點 | ||
測量分辨率 | 0.01μm | |||
測量精度(Accuracy) | 平面度 | 0.060μm | ||
| 平行度 | 0.100μm | |||
深度 | 0.250μm | |||
重復精度(Repeatability) | 平面度 | 0.02μm | ||
| 平行度 | 0.025μm | |||
| 深度 | 0.100μm | |||
測量時間 | 從樣品設置到分析約60秒 | |||
