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篤摯儀器（上海）有限公司
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郵箱：814294500@qq.com
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產品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
tropel flatmaster 200平坦度檢測設備
美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統也稱為平面度儀、平整度儀、 平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業界*先的平面度及表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術能在很短的時間內記錄下整個表面的數據。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學等材料科學和制程藝領域的知識，Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業界*先的表面形態測量。能夠對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。
在使用時有如下特性
測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統:
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現自動、 快速、準確、穩定且靈活的測量
應用領域如下
?無接觸和無損傷測量
?適用多種類型材料:半導體，金屬，聚合物，陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
 |  |
FLATMASTER 200平面度儀技術參數
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″ |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-200mm |
| 動態測量范圍 | >100um |
| 測量數據點 | 230,000 |
| 測量時間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
| 標準測量 | 球面半徑.平面度、線輪廓、表面粗糙度、 |
